華為mate60 pro 發(fā)布了,9000s 芯片神秘量產(chǎn),“卡脖子技術(shù)”之光刻膠,到底卡在哪里?之一
近日 華為手機(jī) mate 60 pro 發(fā)布,采用華為自己的9000s芯片,為全世界帶來了一片驚訝??ú弊拥墓饪虣C(jī)和光刻技術(shù),究竟是怎么回事,華為又是如何突破的,現(xiàn)在還是人們心中的一個疑問,今天我們來全方位的了解一下光刻機(jī)技術(shù)中的光刻膠相關(guān)內(nèi)容。
首先來認(rèn)識一下光刻膠:
光刻膠主要組分分為樹脂、感光劑、溶劑及表面活性劑等添加劑。溶劑主要使光刻膠各組分分散其中,使光刻膠具備流動性,當(dāng)前半導(dǎo)體和面板光刻膠所用溶劑主要為PGMEA(丙二醇甲醚醋酸酯,亦簡稱PMA);樹脂與感光劑搭配使用,是光刻膠發(fā)揮感光作用的主要功能組分,不同類型的光刻膠其樹脂和感光劑的成分有很大差別,依感光波長由長到短主要為酚醛樹脂-重氮萘醌體系(g線/i線)、對羥基苯乙烯-光致產(chǎn)酸劑體系(KrF)、丙烯酸酯-光致產(chǎn)酸劑體系(ArF)、分子玻璃或金屬氧化物體系(EUV)。其他添加劑包括表面活性劑、穩(wěn)定劑等。
各類光刻膠中雖然各組分含量存在差異,但樹脂含量一般在20%以下,總體來適用波長越短的光刻膠,其樹脂含量越低,溶劑含量越高:g線/i線膠的樹脂含量在10-20%左右,KrF膠樹脂含量在10%以下,ArF膠及EUV光刻膠的樹脂含量通常在5%以下。
光刻膠的另一重要組分即為感光劑,g線/i線膠及面板膠會使用包括DNQ(重氮萘醌)在內(nèi)的光引發(fā)劑作為感光劑,而基于化學(xué)放大法的現(xiàn)代半導(dǎo)體光刻膠(KrF、ArF、EUV)均使用光致產(chǎn)酸劑作為主要的感光組分。
除樹脂和感光劑外,溶劑和其他添加劑如流平劑、表面活性劑等,主要作用為使光刻膠形成均勻分散的溶液體系,其中各品種光刻膠所用溶劑絕大多數(shù)為丙二醇甲醚乙酸酯,海外簡稱PGMEA,國內(nèi)又簡稱PMA。
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